超純水是一種將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的高純度水，一般電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)的我們才稱之為超純水。對于半導體行業(yè)而言，超純水是確保其高效生產(chǎn)的基石之一，所以我們才說半導體生產(chǎn)離不開超純水設備。

　　在半導體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，清洗步驟占據(jù)了整個生產(chǎn)總步驟的三分之一,可以說整個清洗過程離不開超純水設備。應用專業(yè)的超純水設備即可產(chǎn)出高品質(zhì)的超純水，如今半導體行業(yè)常用的超純水設備核心工藝為反滲透工藝、EDI系統(tǒng)、混床工藝，這樣生產(chǎn)出的超純水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃)，具有環(huán)保、經(jīng)濟、發(fā)展?jié)摿薮蟮戎T多優(yōu)勢。

　　半導體行業(yè)應用的超純水設備核心采用的是曲線微導力技術，應用膜法技術，在拋光段采用進口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂，在保證系統(tǒng)高回收率的同時，有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。設備中應用的EDI系統(tǒng)是一種將離子交換膜技術和離子電遷移技術相結(jié)合的純水制造技術，無需酸堿再生，是一種新型的脫鹽方式，該系統(tǒng)的應用幫助超純水設備降低了運行成本。該設備可連續(xù)穩(wěn)定地制備超純水，不會因為樹脂再生而停止運行，設備結(jié)構(gòu)設計比較嚴密，所以其占地面積非常小，可以為企業(yè)節(jié)省大量空間，屬于實用型超純水設備。

　　綜上所述，半導體行業(yè)的發(fā)展離不開超純水設備的應用，該設備深受半導體行業(yè)的青睞，在電子芯片、集成電路及封裝、晶圓、科研、航空航天等領域中應用良多。

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　　編輯：柒柒   技術：米